SOG相关论文
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱......
对比研究了SiO2、聚酰亚胺薄膜、SiNx/旋涂玻璃(SOG)复合材料等钝化材料对倒装焊深紫外LED器件抑制漏电流恶化、改善器件可靠性的......
0.8μm高压BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)电路存在漏电失效,其失效原因是IMD(Inter-Metal Dielectric)平坦化不良,造成金属2残留短路.通......
以SPOT VEGETATION旬数据集为数据源,研究1999-2010年陕甘宁黄土高原区植被物候时空特征.采用时间序列谐波分析法对原数据进行预处......
介绍了拉曼散射在氧碘化学激光器参数测试上的应用，给出了在流量为0．5mol／S的射流式氧发生器上的实验结果。采用一套测试装置可以同时......
针对目前WebGIS系统二次开发中存在的难点和WebGIS系统之间存在的互操作性问题,通过分析WebService与SOAP协议的结构,在WebGIS开发......
1SoG智能开关的优越性 SOG智能开关采用SR气体绝缘，体积小、质量轻、开断性能优异，能自动隔离故障。当配网中发生故障时，利用它可以迅......
10kV电网是中压配电网，其主要职能是有效保证整个配电网的供电质量和供电能力。往往由于自然灾害等不可抗力条件，配电网线路经常会发......
通过实验对采用SOG材料的0．5pmCMOS后段平坦化工艺进行优化。采用3因素2水平的实验设计，表明IMD1—1厚度、SOG（旋涂玻璃）厚度和etchbac......
实验研究了单重态氧发生器(SOG)的p-τ值,即初始氯气分压与停留时间的乘积,对化学氧碘激光器(COIL)的影响,并分析了诸多实验因素对......
SOI大大降低了RF模拟电路和数字逻辑元件的串扰，可以很容易和无源器件相集成，高阻抗SOI和GPSOI衬底加强了这些优势，在CMOS射频集成电......
介绍了一种超大规模集成电路层间介质膜的平坦化技术 ,通过对双层布线中复合膜(CVD- Si O2 膜和 SOG膜 )的回刻 ,使器件在具有高的......
本文对于广泛应用于亚微米集成电路制造多层互连工艺的局部平坦化技术——SOG 平坦化技术,从 SOG 材料及设备,SOG 的涂布、烘焙、......
